基于半导体器件的化学和生物实体传感已经通过使用微米级和纳米级场效应器件及其近似变体得到了证明。尽管碳纳米管和硅纳米线已被证明是单分子生物传感器，但用于制造这些设备的制造方法通常与现代半导体制造技术不兼容，并且它们的大规模集成存在问题。这些缺点通过微电子制造技术的最新进展得到解决，从而实现了类纳米线结构。在这里，我们报告了一种使用此类技术在精确位置制造硅纳米线的方法。我们的方法可以实现真正集成的传感器，能够生产密集阵列。
集成纳米级器件相关期刊
ACS Nano、Advanced Function Materials、Journal of Physical Chemistry Letters、Biomaterials、Small、Nano Research
English 
Spanish 
Russian 
German 
French 
Japanese 
Portuguese 
Hindi 